Non-destructive imaging of organosilicate glass (OSG) thin films at low voltage with the EsB detector

  1. Garitagoitia Cid, A.
  2. Moayedi, E.
  3. Rosenkranz, R.
  4. Clausner, A.
  5. Pakbaz, K.
  6. Zschech, E.
Revista:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability

ISSN: 1558-2574 1530-4388

Año de publicación: 2016

Volumen: 16

Número: 4

Páginas: 461-464

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/TDMR.2016.2628166 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible