Non-destructive imaging of organosilicate glass (OSG) thin films at low voltage with the EsB detector

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Zeitschrift:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability

ISSN: 1558-2574,  1530-4388

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 16

Nummer: 4

Seiten: 461-464

Art: Artikel

DOI: 10.1109/TDMR.2016.2628166 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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