Non-destructive imaging of organosilicate glass (OSG) thin films at low voltage with the EsB detector

  1. Garitagoitia Cid, A.
  2. Moayedi, E.
  3. Rosenkranz, R.
  4. Clausner, A.
  5. Pakbaz, K.
  6. Zschech, E.
Revista:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability

ISSN: 1558-2574,  1530-4388

Ano de publicación: 2016

Volume: 16

Número: 4

Páxinas: 461-464

Tipo: Artigo

DOI: 10.1109/TDMR.2016.2628166 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus