Non-destructive imaging of organosilicate glass (OSG) thin films at low voltage with the EsB detector

  1. Garitagoitia Cid, A.
  2. Moayedi, E.
  3. Rosenkranz, R.
  4. Clausner, A.
  5. Pakbaz, K.
  6. Zschech, E.
Revista:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability

ISSN: 1558-2574,  1530-4388

Any de publicació: 2016

Volum: 16

Número: 4

Pàgines: 461-464

Tipus: Article

DOI: 10.1109/TDMR.2016.2628166 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus