Optimization of the SEM Working Conditions: EsB Detector at Low Voltage

  1. Garitagoitia Cid, A.
  2. Rosenkranz, R.
  3. Zschech, E.
Zeitschrift:
Advanced Engineering Materials

ISSN: 1527-2648 1438-1656

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 18

Nummer: 2

Seiten: 185-193

Art: Artikel

DOI: 10.1002/ADEM.201500161 GOOGLE SCHOLAR